特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備,一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。自80年代1開始,我國的氣體工業迅速發展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業用氣體等相繼問世,其品種數目已與國外發達國家水平相近。
特種氣體的儲存注意事項:儲存場地的道路,應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次,并做記錄。特種氣體從應用領域來看,主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程,是下游的行業關鍵性化工基礎材料,被譽為電子產業的“血液”。特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。
特種氣體的儲存注意事項:根據儲存的氣體類型設置標牌,如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強、殺菌譜廣,對物品損害輕微等優點,已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,特種氣體的重要性:在半導體工藝中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。
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